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產品詳細說明
日本BUSCH干式螺桿真空泵-COBRA BC1000/2000F
輕到中負載半導體應用的理想解決方案
高性能
進的螺桿設計，鐘形結構，專利自平衡螺桿，卓越的運行質量，安裝機械增壓泵，適用于負載鎖定、傳輸室、計量、光刻、PVD、快速熱處理
高效率
擁有成本低、維護 少、維修間隔長、正常運行時間長、直接水冷
袖珍的
設計用于安裝在任何地方，直接連接罐電機、背泵、機械增壓泵，安裝在緊湊的底座上
市場與應用
半導體相關
中程
太陽能電池板相關
物理氣相沉積 (PVD)
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