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產品詳細說明
INFICON Transpector APX 仍然是市場**的半導體和顯示器工藝監(jiān)控殘余氣體分析儀 (RGA)。INFICON 知道半導體和顯示器客戶有獨特的需求，Transpector APX 的*新版本可以提供更大的靈活性來滿足特定的應用要求，同時保持行業(yè)**的測量速度和靈敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導體工藝的理想 RGA 工藝監(jiān)視器。
下*代 Transpector APX ALD 單壓入口系統(tǒng)的設計能夠承受容易產生顆粒或涂層的化學工藝，例如 ALD 或 PECVD。這樣可以進行連續(xù)監(jiān)控，以捕獲所有關鍵流程步驟的數據點。此外，入口可進行溫度控制，以抵抗腐蝕性氣體，這對于腔室清潔端點監(jiān)測應用至關重要。
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