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產(chǎn)品詳細(xì)說明
INFICON Quantus HP100 氣體分析儀基于自等離子體發(fā)射光譜 (SPOES) 技術(shù)，旨在在半導(dǎo)體制造過程中提供實時泄漏檢測、終點檢測和過程監(jiān)控。Quantus HP100 具有出色的靈敏度、緊湊的外形，無需昂貴的泵即可提供寬廣的工作壓力范圍，使其非常適合大多數(shù)半導(dǎo)體工具的過程監(jiān)控和保護。
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