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產品詳細說明
產品描述
可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等
產品特點
高密度等離子源，等離子效率高，減少制程時間
專利設計之特殊等離子電*
特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計
處理之均勻性佳
等離子均勻性佳
可使用多種制程氣體
全自動且容易操作
設備穩定高，容易維護
可根據客戶需求設計專用特殊規格之機臺
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